臨界尺寸掃描電子顯微鏡（CD SEM）

簡要描述：HITACHI S-9260A是一種先進(jìn)的掃描電子顯微鏡（SEM），設(shè)計(jì)用于各種研究和印刷應(yīng)用的最佳性能。它具有的分辨率，非常適合成像微小的顆粒和結(jié)構(gòu)，如蛋白質(zhì)和病毒。SEM利用電子束生成放置在SEM腔內(nèi)的樣品圖像。電子與樣品表面相互作用，穿透并導(dǎo)致樣品發(fā)射二次電子，然后被檢測到。

產(chǎn)品型號：S-9260A
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新日期：2024-09-23
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HITACHI S-9260A

臨界尺寸掃描電子顯微鏡（CD-SEM），8"晶圓形狀：SEMI或JEIDA打開盒式磁帶裝載機(jī)單元電子槍：肖特基發(fā)射源加速電壓：300 - 1600 V物鏡：加熱式活動孔徑：4孔可變掃描線圈：2級電磁偏轉(zhuǎn)圖像分辨率：30 A 時(shí)為 3 nm，0.8 Kv散光校正：8極電磁線圈放大倍率范圍：500X - 300,000X測量范圍：0.1 - 2.0 um產(chǎn)量：每小時(shí) 65 片晶圓光學(xué)顯微鏡：1.2 x 1.2 mm 黑白視圖晶圓載物臺XY 范圍：0“- 8"驅(qū)動電機(jī)：脈沖電機(jī)工作站：HP B2600操作系統(tǒng)： HP-UX 10.20軟件版本 18.35主持人：18.35SEM：18.35IPS的：18.35（4500）IPS_V： 18.35貴賓：07.21.X1階段： 02.05疏散： 02.05高功率：04.02WT：塔茲莫，IC1：05.13L;港鐵-DA1-E：05.08CD重復(fù)性模式：0.24,3Sigma：0.761模式：0.48,3Sigma：0.93模式：0.72,3Sigma：0.77模式：0.96,3Sigma：0.85一個(gè)圖案晶圓的CD測量，3Sigma：1.22電源顯示冷水機(jī)：W5010T（2） Edwards 干泵：負(fù)載鎖和試樣室

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